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1 气相法(1)化学气相沉积技术气相法合成高纯度超细氧化铝颗粒,主要以金属单质、卤化物、氢化物或有机化合物为原料,通过气相热解或化学反应实现。其中,化学气相沉积技术应用广泛。例如,意大利研究人员采用室温...
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